1.腔体内径:280-300mm（腔体内径300 热台直径约10寸）;
2.腔体内部高度:10-15mm;
3.冷态真空:小于1pa，漏率:0.1pa/min; （ 氦质谱检漏测试 小于-10Pa m³/S 合格）
4.加热温度250°C，偏差:1°C
