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真空腔体 |
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类型 |
高温型 室温到400℃ |
高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃ |
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腔体材质 |
304不锈钢 |
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腔体内尺寸 |
Φ88mmX59mm |
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腔体外尺寸 |
Φ112X65mm |
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腔体重量 |
约2.6KG |
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腔体上视窗尺寸 |
Φ47mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） |
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腔体抽气口 |
可扩展KF16法兰 KF25法兰 |
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腔体真空测量口 |
KF16法兰（其余接口规格可转接） |
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腔体进气口 |
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 硅胶薄膜液体注射口 气管接头可选 |
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腔体电接口 |
5KV高压电极，10KV高压电极，4芯8A气密封信号接口，8芯4A气密封信号接口， |
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腔体正压 |
≤0.1MPa |
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腔体真空度 |
机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
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制冷接口 |
无 |
3mm液氮管道 |
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样品台 |
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样品台材质 |
无氧铜（可选纯银热台） |
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样品台尺寸 |
26x26mm |
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样品台加热方式 |
电阻加热 |
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样品台-视窗 距离 |
48mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） |
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样品台测温传感器 |
PT100型铂电阻 |
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样品台温度 |
高温型 室温到400℃ |
高低温型 室温到400℃ 室温到-196℃ |
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样品台测温误差 |
±0.5℃ |
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样品台升温速率 |
高温50℃/min 最大值 |
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温控仪 |
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温度显示 |
7寸人机界面 |
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温控类型 |
标准PID温控 +自整定 30段编程控温 |
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温度分辨率 |
0.1℃ |
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温控精度 |
±0.5℃ |
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温度信号输入类型 |
PT100铂电阻（可选热电阻 K S B型热电偶） |
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温控输出 |
直流线性电源加热 |
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辅助功能 |
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口 |
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温控器尺寸 |
32cmX170cmX380cm |
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温控器重量 |
约5.6KG |
