技术参数
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真空腔体 |
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类型 |
高温加热型1000℃（高于600℃需真空环境） |
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腔体材质 |
6061铝合金 |
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腔体内尺寸 |
147mmX72mmX22mm |
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腔体外尺寸 |
170mmX95mmX37mm |
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腔体重量 |
约1.1KG |
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腔体上视窗尺寸 |
Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） |
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腔体抽气口 |
KF16法兰（其余接口规格可转接） |
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腔体真空测量口 |
KF16法兰（其余接口规格可转接） |
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腔体进气口 |
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
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腔体冷却方式 |
腔体水冷+上盖水冷 |
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腔体水冷接口 |
6mm快拧 或 6mm快插 |
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腔体正压 |
≤0.05MPa |
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腔体真空度 |
机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
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样品台 |
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样品台材质 |
高温绝缘陶瓷 |
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样品台尺寸 |
26x26mm |
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样品台加热方式 |
电阻加热 |
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样品台-视窗 距离 |
13mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） |
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样品台测温传感器 |
S型热电偶 |
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样品台温度 |
室温到1000℃（可选1200℃ 短时间加热配置） |
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样品台隔热材料 |
金属屏蔽+陶瓷隔热 |
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样品台测温误差 |
±1℃ |
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样品台升温速率 |
高温100℃/min 最大值 |
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温控仪 |
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温度显示 |
7寸人机界面 |
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温控类型 |
标准PID温控 +自整定 30段编程控温 |
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温度分辨率 |
1℃ |
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温控精度 |
±1℃ |
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温度信号输入类型 |
S （可选PT100热电阻 K B型热电偶） |
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温控输出 |
直流线性电源加热 |
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辅助功能 |
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口 |
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温控器尺寸 |
32cmX170cmX380cm |
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温控器重量 |
约5.6KG |
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探针 |
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电信号接头 |
配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 |
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电学性能 |
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10Pa（冷态） |
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探针数量 |
4探针（可扩展5探针） |
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探针材质 |
镀金钨针 （其他材质可选） |
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探针尖 |
10μm |
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手动探针移动平台 |
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X轴移动行程 |
20mm ±10mm（需手动推动滑台） |
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X轴控制精度 |
≥500μm |
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R轴移动行程 |
120° ±60°（需手动旋转探针杆） |
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R轴控制精度 |
≥500μm |
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Z轴移动行程 |
2mm ±1mm |
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Z轴控制精度 |
≤50μm（需手动螺纹调节探针杆） |
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水冷机 |
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冷却方式 |
压缩制冷 |
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冷却温度 |
室温到5℃ |
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冷却水流量 |
10L/min |
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冷却介质 |
纯水 |
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冷却水管接口 |
6mm快插 |
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循环水箱容量 |
6L |
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水冷机尺寸 |
56cmX28cmX45cm |
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水冷机重量 |
约26KG |
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整机功率 |
600W |
